應用介紹: 廣泛應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。
技術指標與基本配置:
使用溫度 | RT+30~400℃,溫度:450℃; |
爐膛腔數 | 1或2個,上下布置; |
爐膛材料 | SUS316鏡面不銹鋼; |
加熱元件 | 不銹鋼加熱器; |
空爐升溫時間 | 1.5h; |
空爐降溫時間 | 375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 |
降溫模式 | 采用水冷及風冷; |
控溫穩定度 | ±1℃; |
溫度均勻度 | ±2%℃(400℃平臺)。 |
主要特點 | 箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點,的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,吸風口加玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。 |
氧含量 (配氧分析儀) | 高溫狀態氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量; 低溫狀態氧含量:≤100ppm +氣源氧含量。 |
工藝線標準:
在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃→200℃狀態下恒溫45分鐘→再40min升到375℃→375℃恒溫1H→最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃。
可接受定制或多腔體
產品型號:
型號 | MOLWY-120 | MOLWY-288 | MOLWY-512 |
內尺寸(mm) | W450*H650*D450 | W600*H800*D600 | W800*H800*D800 |
層板數 | 二層 |
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